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背部供电FinFET中后道寄生提取建模、测试结构开发及寄生导向协同优化

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
沈阳
依托单位：
华东师范大学
学科分类：
计算数学,F01.电子学与信息系统,F04.半导体科学与信息器件
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
沈阳
关键词：
背部供电FinFET后道寄生效应寄生参数建模测试结构设计协同优化方法

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