课题基金 / 基金详情

基于微型迈克尔逊干涉仪的集成式 ng级MOEMS加速度计研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
依托单位：
南京信息工程大学
学科分类：
自动化,F04.半导体科学与信息器件,F05.光学和光电子学
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
关键词：
微型迈克尔逊干涉仪MOEMS加速度计集成式传感器纳克级加速度计

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  • 依托单位：
    南京信息工程大学
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