课题基金
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基金详情
薄膜厚度白光干涉精密测量控制系统开发
批准号:
--
项目类别:
省市级项目
资助金额:
万元
负责人:
孙震
依托单位:
江苏科技大学
学科分类:
光学,F03.自动化,F05.光学和光电子学
结题年份:
--
批准年份:
2026
项目状态:
未结题
项目参与者:
孙震
关键词:
薄膜厚度测量
白光干涉技术
精密测量系统
光学测控
薄膜材料分析
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