半导体设备中光学组件智能制造技术的研发
批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
陈亮
依托单位：
学科分类：
机械工程,E13.新概念材料与材料共性科学,F03.自动化,F04.半导体科学与信息器件,F05.光学和光电子学
结题年份：
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批准年份：
2026
项目状态：
未结题
项目参与者：
陈亮
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