课题基金 / 基金详情

DES真空蚀刻装置的升级改造及制造工艺优化

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
李微
依托单位：
南京信息职业技术学院
学科分类：
化学工程与工业化学,E05.机械工程,F04.半导体科学与信息器件
结题年份：
--
批准年份：
2026
项目状态：
未结题
项目参与者：
李微
关键词：
DES真空蚀刻装置制造工艺装置升级蚀刻优化真空技术

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