课题基金 / 基金详情

面向先进工艺的明场晶圆缺陷检测系统与关键技术研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
陈涛
依托单位：
国科大杭州高等研究院
学科分类：
电子学与信息系统,F02.计算机科学,F03.自动化,F04.半导体科学与信息器件,F06.人工智能
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
陈涛
关键词：
明场晶圆检测缺陷识别技术先进工艺光学检测系统晶圆表征

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