课题基金 / 基金详情

157纳米高透过率氧化硅玻璃的制备

批准号：
60278039
项目类别：
面上项目
资助金额：
7.0 万元
负责人：
刘丽英
依托单位：
复旦大学
学科分类：
光学和光电子材料
结题年份：
2003
批准年份：
2002
项目状态：
已结题
项目参与者：
叶明新、贾宏志、李毅刚、阎结昀、王贤江
关键词：
溶胶－凝胶.玻璃.紫外

项目摘要

结项摘要

刘丽英的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
随着光刻精度的不断提高，光刻将使用157纳米波长的光源。本课题针对157纳米光刻中所用光刻模版的问题，提出可通过采用溶胶-凝胶技术制备块状氧化硅玻璃来实现。制备的块状凝胶玻璃可通过化学处理除水掺氟得到更短的紫外截止波长，在157纳米具有高的透过率，通过该项研究，有望为低成本制备大尺寸的具有157纳米高透过率的玻璃开辟一条新路。
英文摘要
各向异性高Q固/液复合微泡微腔光机力学效应研究
  • 批准号：
    11874122
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    64.0万元
  • 批准年份：
    2018
  • 负责人：
    刘丽英
  • 依托单位：
    复旦大学
高Q回音壁光学微谐振腔表面等离激元强耦合模式特性及应用
  • 批准号：
    11474070
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    99.0万元
  • 批准年份：
    2014
  • 负责人：
    刘丽英
  • 依托单位：
    复旦大学
复合结构高Q光学微谐振腔的构建与光学特性研究
  • 批准号：
    11074051
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    40.0万元
  • 批准年份：
    2010
  • 负责人：
    刘丽英
  • 依托单位：
    复旦大学
新型亚微米高度大纵横比玻璃光波导的光传输特性与制备技术研究
  • 批准号：
    60977047
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    36.0万元
  • 批准年份：
    2009
  • 负责人：
    刘丽英
  • 依托单位：
    复旦大学
国内基金
海外基金