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半导体制造复杂工况红外热成像失真机理与热分布在线监测方法

批准号：
ZCLQN26F0402
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
周彬
依托单位：
中国计量大学
学科分类：
自动化,F04.半导体科学与信息器件,F05.光学和光电子学
结题年份：
--
批准年份：
2026
项目状态：
未结题
项目参与者：
周彬
关键词：
半导体制造红外热成像热失真机理热分布监测在线检测

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