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面向先进制程光刻机温控系统亚毫开尔文级NTC传感器劣化机理及溯源研究

批准号：
JCZRLH202601818
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
依托单位：
湖北省计量测试技术研究院
学科分类：
无机非金属材料,E06.能源动力与工程热物理,F01.电子学与信息系统,F03.自动化,F04.半导体科学与信息器件
结题年份：
--
批准年份：
2026
项目状态：
未结题
项目参与者：
关键词：
先进制程光刻机温控系统亚毫开尔文级NTC传感器劣化机理

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