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面向光刻机异形曲面反射镜热形貌控制的自由曲面红外激光空间调控关键技术研究

批准号：
JCZRMS202600518
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
依托单位：
华中农业大学
学科分类：
动力学与控制,A08.固体力学,E02.无机非金属材料,F04.半导体科学与信息器件,F05.光学和光电子学
结题年份：
--
批准年份：
2026
项目状态：
未结题
项目参与者：
关键词：
光刻机反射镜自由曲面红外激光调控热形貌控制异形曲面

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  • 负责人：
    --
  • 依托单位：
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