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半导体与核工业用高纯石墨中痕量卤素和硫杂质含量检测关键技术研究

批准号：
2026JJ80851
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
张卓佳
依托单位：
郴州市产商品质量监督检验所
学科分类：
核技术及其应用,B04.化学测量学,B05.材料化学,F04.半导体科学与信息器件
结题年份：
--
批准年份：
2026
项目状态：
未结题
项目参与者：
张卓佳
关键词：
高纯石墨痕量卤素硫杂质半导体材料核工业检测

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