新型超薄透明晶圆关键参数专用测量系统研发
批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
蒋家林
依托单位：
学科分类：
计算数学,F01.电子学与信息系统,F03.自动化,F04.半导体科学与信息器件,F05.光学和光电子学
结题年份：
--
批准年份：
2026
项目状态：
未结题
项目参与者：
蒋家林
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