课题基金 / 基金详情

一种新型连续磁控倾斜溅射LCOS光阀芯片真空镀膜工艺研发

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
石高瀑
依托单位：
重庆市晶帆光电科技有限公司
学科分类：
材料化学,E13.新概念材料与材料共性科学,F04.半导体科学与信息器件,F05.光学和光电子学
结题年份：
--
批准年份：
2026
项目状态：
未结题
项目参与者：
石高瀑
关键词：
连续磁控溅射LCOS光阀芯片真空镀膜工艺倾斜溅射技术芯片制造

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