面向金刚石晶圆智造的AI辅助等离子体温度和浓度实时诊断研究
批准号：
525B2092
项目类别：
青年学生基础研究项目
资助金额：
30.00 万元
负责人：
田志国
依托单位：
学科分类：
工程与材料科学部
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
田志国
关键词：
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