面向原子级制造的磷化铟晶圆力学性能—切割—研磨—抛光加工一体化关系研究
批准号：
62564008
项目类别：
地区科学基金项目
资助金额：
33.00 万元
负责人：
邓家云
依托单位：
学科分类：
信息科学部
结题年份：
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批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
邓家云
关键词：
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