硅片表面平坦化机理和台阶形貌的多尺度理论研究
批准号：
22403104
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30.00 万元
负责人：
李湃
依托单位：
学科分类：
化学科学部
结题年份：
--
批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
李湃
关键词：
--
相似基金
相关文献
国内基金
海外基金