大规模微透镜阵列三轴联动超精密侧向伺服飞切方法研究
批准号：
52605703
项目类别：
青年科学基金项目（C类）
资助金额：
30.00 万元
负责人：
周荣晶
依托单位：
学科分类：
工程与材料科学部
结题年份：
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批准年份：
2026
项目状态：
未结题
项目参与者：
周荣晶
关键词：
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