面向半导体晶圆双面超精密研抛的无摩涡阻气动系统及其高精度控制策略研究
批准号：
52575062
项目类别：
面上项目
资助金额：
50.00 万元
负责人：
钱鹏飞
依托单位：
学科分类：
工程与材料科学部
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
钱鹏飞
关键词：
--
钱鹏飞的其他基金
相似基金
相关文献
摩擦可控新型气缸调摩方法及其运动和力伺服超高精度控制策略研究
-
批准号：52075223
-
项目类别：面上项目
-
资助金额：58.0万元
-
批准年份：2020
-
负责人：钱鹏飞
-
依托单位：
面向大型自由曲面加工的全气动移动研抛机器人柔顺研抛复合控制策略研究
-
批准号：51605194
-
项目类别：青年科学基金项目
-
资助金额：20.0万元
-
批准年份：2016
-
负责人：钱鹏飞
-
依托单位：
国内基金
海外基金