基于硅衬底AlN薄膜的低温掺杂调控机制研究
批准号：
52462026
项目类别：
地区科学基金项目
资助金额：
32.00 万元
负责人：
王珍
依托单位：
学科分类：
工程与材料科学部
结题年份：
--
批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
王珍
关键词：
--
王珍的其他基金
相似基金
相关文献
高透光率MXene/CNTs复合薄膜的界面焊接机制及电磁屏蔽性能研究
-
批准号：52102145
-
项目类别：青年科学基金项目（C类）
-
资助金额：30.0万元
-
批准年份：2021
-
负责人：王珍
-
依托单位：
国内基金
海外基金