高周波プラズマ診断におけるエミッシブプローブ特性解析
高周波プラズマ診断におけるエミッシブプローブ特性解析
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高频等离子体诊断中的发射探针特性分析
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
進藤春雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
草場康太;進藤春雄
