EDMRとCV測定の組み合わせによるSiO2/SiC界面欠陥のエネルギーレベルの推定
EDMRとCV測定の組み合わせによるSiO2/SiC界面欠陥のエネルギーレベルの推定
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通过结合 EDMR 和 CV 测量来估计 SiO2/SiC 界面缺陷的能级
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
梅田享英
中科院分区:
文献类型:
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作者:
染谷満;西谷侑将;近藤蓮;猪鼻伶;曾弘宇;平井悠久;岡本大;松下雄一郎;梅田享英