Increase in Drive Current by Pt/W Protection on Short-Channel Schottky Source/Drain Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors with Metal Gate

Increase in Drive Current by Pt/W Protection on Short-Channel Schottky Source/Drain Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors with Metal Gate
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通过对带金属栅极的短沟道肖特基源极/漏极金属氧化物半导体场效应晶体管进行 Pt/W 保护来增加驱动电流

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics 43・9A
影响因子:
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通讯作者:
M.Asada
M.Asada
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H.Sato;H.Sato;T.Iguchi;M.Asada

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