The role of metal and passivation defects in electromigration-induced damage in thin film conductors

The role of metal and passivation defects in electromigration-induced damage in thin film conductors
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金属和钝化缺陷在薄膜导体电迁移引起的损伤中的作用

DOI:
10.1016/0040-6090(82)90144-4
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发表时间:
1982
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
G. Prokop
G. Prokop
中科院分区:
材料科学3区
文献类型:
--
作者:
J. Lloyd;P. Smith;G. Prokop

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