Structure evolution of atomic layer deposition grown ZrO2 films by deep-ultra-violet Raman and far-infrared spectroscopies
Structure evolution of atomic layer deposition grown ZrO2 films by deep-ultra-violet Raman and far-infrared spectroscopies
复制标题
深紫外拉曼和远红外光谱原子层沉积生长 ZrO2 薄膜的结构演化
DOI：
10.1016/s0022-3093(03)00188-1
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发表时间：
2003
影响因子：
3.5
通讯作者：
M. Fanciulli
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
E. Bonera;G. Scarel;M. Fanciulli
影响因子：
2.5
作者：
H. S. Sands;F. Demangeot;E. Bonera;S. Webster;R. Bennett;I. Hayward;F. Marchi;D. A. Smith;D. Batchelder
通讯作者：
H. S. Sands;F. Demangeot;E. Bonera;S. Webster;R. Bennett;I. Hayward;F. Marchi;D. A. Smith;D. Batchelder