Influence of annealing condition on the properties of sputtered hafnium oxide
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DOI：
10.1016/s0022-3093(02)00976-6
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发表时间：
2002-05
影响因子：
3.5
通讯作者：
S. Nam;J. Yoo;Suheun Nam;Hyo-Jick Choi;Dong Won Lee;D. Ko;Jooho Moon;J. Ku;Si-young Choi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Nam;J. Yoo;Suheun Nam;Hyo-Jick Choi;Dong Won Lee;D. Ko;Jooho Moon;J. Ku;Si-young Choi
