300㎜照射幅ライン照射型電子線源「EBエンジン」及び各種紫外線光源の紹介
300㎜照射幅ライン照射型電子線源「EBエンジン」及び各種紫外線光源の紹介
复制标题
引进照射宽度300mm线照射型电子束源“EB Engine”及各种紫外线光源
DOI:
--
复制
发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
木村 純
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
長谷川陽子,柿本直也,田中祐人;藤原正識, 前田芳信;本田公亮;長谷川陽子,加藤隆史,Nelly Huynh, Maria Carra,本田公亮,岸本裕充,Gilles Lavigne;木村 純