走査電子顕微鏡で見たシリコン系半導体薄膜の微細構造
走査電子顕微鏡で見たシリコン系半導体薄膜の微細構造
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用扫描电子显微镜观察硅基半导体薄膜的微观结构
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐藤馨
中科院分区：
文献类型：
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作者：
板倉賢;桑野範之;立花繁明;佐藤馨
