On the Effects of Temperature and Relative Humidity on the Response of a MEMS Arch Resonator
On the Effects of Temperature and Relative Humidity on the Response of a MEMS Arch Resonator
复制标题
温度和相对湿度对 MEMS 拱形谐振器响应的影响
DOI：
10.1115/detc2017-68241
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发表时间：
2017
影响因子：
4
通讯作者：
F. Alsaleem
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Hasan;H. Ouakad;F. Alsaleem
