Optimization of Spindt-type emitter cathode shape prepared by high power pulsed magnetron sputtering: The effect of template cavity dimensions
Optimization of Spindt-type emitter cathode shape prepared by high power pulsed magnetron sputtering: The effect of template cavity dimensions
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高功率脉冲磁控溅射制备 Spindt 型发射极阴极形状的优化：模板腔尺寸的影响
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Murakami
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Nakano;H. Taniguchi;K. Oya;M. Nagao;H. Ohsaki;K. Murakami
