Modular bimorph mirrors for adaptive optics
Modular bimorph mirrors for adaptive optics
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用于自适应光学的模块化双压电晶片镜
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Preumont
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G. Rodrigues;R. Bastaits;S. Roose;Y. Stockman;S. Gebhardt;A. Schoenecker;P. Villon;A. Preumont
本文研究了利用双压电晶片压电驱动的硅晶片构建具有大量自由度的自适应光学可变形镜的可能性。镜子可以单独使用，也可以作为较大镜子的一部分使用。一节的典型尺寸为100至200毫米；生产过程依靠硅片和厚膜压电材料沉积技术；它能够实现 5 毫米左右的驱动节距，并且制造成本似乎只会随着自适应光学器件自由度的增加而缓慢增长。
This paper examines the possibility of constructing deformable mirrors for adaptive optics with a large number of degrees of freedom from silicon wafers with bimorph piezoelectric actuation. The mirror may be used on its own, or as a segment of a larger mirror. The typical size of one segment is 100 to 200 mm; the production process relies on silicon wafers and thick film piezoelectric material deposition technology; it is able to lead to an actuation pitch of the order of 5 mm, and the manufacturing costs appear to grow only slowly with the number of degrees of freedom in the adaptive optics.