Limitations and Optimization of Low-coherence Interferometry for High Precision Microscopic Form Measurement
Limitations and Optimization of Low-coherence Interferometry for High Precision Microscopic Form Measurement
复制标题
低相干干涉测量在高精度微观形状测量中的局限性和优化
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Niehues
中科院分区：
文献类型：
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作者：
P. Lehmann;J. Niehues
