Development of Mg/SiC multilayer mirrors
Development of Mg/SiC multilayer mirrors
复制标题
Mg/SiC多层反射镜的开发
DOI：
10.1117/12.679965
复制
发表时间：
2006
影响因子：
2.6
通讯作者：
I. Yoshikawa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
G. Murakami;K. Yoshioka;I. Yoshikawa
Mo/Si多层镀膜镜通常用于极紫外（EUV）光谱范围内的空间科学，特别是He-II（30.4 nm）辐射，因为它在真空和大气下高度稳定。它具有15-20%的相当高的反射率。但空间科学界需要在30.4 nm辐射下具有更高反射率的涂层，以适应未来的卫星任务，特别是小型卫星（以减小光学器件的尺寸）。在这项工作中，为了开发一种用于 He-II 辐射的新型多层反射镜，我们报告了由 Mg/SiC 组成的多层反射镜的性能以及大气和真空下反射率的老化。
A multilayer coating mirror of Mo/Si is usually used for space science in the spectral range of extreme ultraviolet (EUV), especially for He-II (30.4 nm) radiation, because it is highly stable under vacuum and atmosphere. It has the fairly high reflectivity of 15-20%. But the space science community needs the coating of higher reflectivity at 30.4 nm radiation for the future satellite missions, especially for the small satellite (to reduce the size of optics). In this work, for developing a new multilayer mirror for He-II radiation, we report the performance of a multilayer consisting of Mg/SiC and the aging in reflectivity under atmosphere and vacuum.
DOI：
--
发表时间：
2003
期刊：
Proceeding of SPIE 5193
影响因子：
--
作者：
K.Tanaka;田中潔;田中潔;田中 潔;Ichiro Yoshikawa
通讯作者：
Ichiro Yoshikawa