Degradation in Euv Reflectance of Ion-Sputtered Sic Films
Degradation in Euv Reflectance of Ion-Sputtered Sic Films
复制标题
离子溅射碳化硅薄膜的 EUV 反射率下降
DOI：
10.1557/proc-354-535
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发表时间：
1994
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R. Keski
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Schwarcz;R. Keski
