TEM characterization of microstructure and composition of nanostructures formed by electron beam induced deposition with tetrakis(trifluorophoshine) -metal precursors
TEM characterization of microstructure and composition of nanostructures formed by electron beam induced deposition with tetrakis(trifluorophoshine) -metal precursors
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四（三氟膦）金属前体电子束诱导沉积形成的纳米结构的微观结构和成分的 TEM 表征
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Furuya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Takeguchi;M. Shimojo;M. Tanaka;K. Mitsuishi;K. Furuya
