M.Yano: "「静電アクチュエ-タ」" 精密工学会誌. 55. 646-648 (1989)
M.Yano: "「静電アクチュエ-タ」" 精密工学会誌. 55. 646-648 (1989)
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M.Yano：“‘静电致动器’”日本精密工程学会杂志 55. 646-648 (1989)。
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