β-W薄膜の結晶構造に対する成膜基板温度および Wターゲット距離の影響
β-W薄膜の結晶構造に対する成膜基板温度および Wターゲット距離の影響
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沉积衬底温度和W靶距对β-W薄膜晶体结构的影响
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上田良夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山中智貴;H.T. Lee;伊庭野健造 ;上田良夫
