衍射光栅机械刻划成槽的预控试验

衍射光栅机械刻划成槽的预控试验
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DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
光学精密工程
影响因子:
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通讯作者:
张善文
张善文
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
张宝庆;史国权;石广丰;蔡洪彬;张善文

文献摘要

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