Fabrication of high-aspect-ratio SiO2 nanopillars by Si thermal oxidation for metalenses in the visible region
Fabrication of high-aspect-ratio SiO2 nanopillars by Si thermal oxidation for metalenses in the visible region
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通过硅热氧化制备高纵横比 SiO2 纳米柱，用于可见光区域的超透镜
DOI：
10.35848/1347-4065/acbfbe
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发表时间：
2023
影响因子：
1.5
通讯作者：
and Yoshiaki Kanamori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Taiyu Okatani;Yuya Naito;and Yoshiaki Kanamori
