永井正敏,岸田浩司,尾見信三: "塩化タングステンを原料とした窒化タングステン薄膜の減圧熱CVD合成" 日本化学会誌. 1996. 368-374 (1996)
永井正敏,岸田浩司,尾見信三: "塩化タングステンを原料とした窒化タングステン薄膜の減圧熱CVD合成" 日本化学会誌. 1996. 368-374 (1996)
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Masatoshi Nagai、Koji Kishida、Shinzo Omi:“以氯化钨为原料的氮化钨薄膜的低压热CVD合成”日本化学学会杂志1996年。368-374(1996)。
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