Tatsuya Banno: "Generation of UHV Compatible Plasmas by Surface Wave Modes and Their Diagnostics"Proc.20 Symp.Plasma Processing. 91-92 (2003)

Tatsuya Banno: "Generation of UHV Compatible Plasmas by Surface Wave Modes and Their Diagnostics"Proc.20 Symp.Plasma Processing. 91-92 (2003)
复制标题

Tatsuya Banno:“通过表面波模式生成 UHV 兼容等离子体及其诊断”Proc.20 Symp.Plasma 处理。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献