硅晶体生长速率与过冷度关系的分子动力学模拟研究
硅晶体生长速率与过冷度关系的分子动力学模拟研究
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DOI:
10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2016.01.005
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
周浪
中科院分区:
文献类型:
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作者:
周耐根;张弛;刘博;李克;周浪