A Novel Numerical approach for the analysis of 2D MEMS-Based variable Capacitors with Arbitrary Motions(invite paper)
A Novel Numerical approach for the analysis of 2D MEMS-Based variable Capacitors with Arbitrary Motions(invite paper)
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一种用于分析任意运动的基于 2D MEMS 的可变电容器的新型数值方法（邀请论文）
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.M.Tentzeris
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Kuroda;N.Miura;M.M.Tentzeris
