伴野 達也: "超高真空仕様表面波励起高密度プラズマ発生装置の評価"真空. 47. 281-284 (2004)
伴野 達也: "超高真空仕様表面波励起高密度プラズマ発生装置の評価"真空. 47. 281-284 (2004)
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坂野达也：“超高真空规格表面波激发高密度等离子体发生器的评估”真空。 47. 281-284 (2004)
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