Vacuum cavity formation for high thermal isolation in flexible thermal sensor
Vacuum cavity formation for high thermal isolation in flexible thermal sensor
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真空腔形成可实现柔性热传感器的高热隔离
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Shikida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
P. Kim;S. Shibata;M. Shikida
