Semiconductor dopant profiling by off-axis electron holography.
Semiconductor dopant profiling by off-axis electron holography.
复制标题
通过离轴电子全息术进行半导体掺杂剂分析。
DOI:
10.1016/s0304-3991(02)00260-7
复制
发表时间:
2003
期刊:
影响因子:
2.2
通讯作者:
David J. Smith
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Jing Li;M. McCartney;David J. Smith