レーザ照射による単結晶シリコン加工変質層の完全修復
レーザ照射による単結晶シリコン加工変質層の完全修復
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激光照射完全修复单晶硅加工损伤层
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
武藤聖也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tadao Kiriyama;Hirofumi Harada;Jiwang Yan;閻紀旺;武藤聖也
