安井 利明: "Sputtering Deposition of Oxide Films by 30cm-class Long Linear ECR Plasma"Proceedings of 17th Symposium on Plazma Processing. 21-24 (2000)
安井 利明: "Sputtering Deposition of Oxide Films by 30cm-class Long Linear ECR Plasma"Proceedings of 17th Symposium on Plazma Processing. 21-24 (2000)
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Toshiaki Yasui：“30cm级长线性ECR等离子体的氧化膜溅射沉积”第17届等离子体处理研讨会论文集21-24（2000年）。
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