高周波放電型負水素イオン源へのバイアス電圧印加方法の検討
高周波放電型負水素イオン源へのバイアス電圧印加方法の検討
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高频放电式负氢离子源偏压施加方法的思考
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内藤富士雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
柴田崇統;高木昭;神藤勝啓;池上清;大越清紀;南茂今朝雄;小栗英知;内藤富士雄
