Analysis of Stresses at Singular Points of Patterned Structures.
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复制标题
图案结构奇异点处的应力分析。
DOI：
10.1557/proc-309-211
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发表时间：
1993
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Terriez
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Chouaf;O. Loppin;M. Ignat;J. Terriez
