垂直可動型静電-弾性協働マイクロアクチュエータの構造および製作プロセスの検討
垂直可動型静電-弾性協働マイクロアクチュエータの構造および製作プロセスの検討
复制标题
垂直移动静电弹协同微执行器结构及制作工艺研究
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
益本寛之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岡田徳次;モハメドアビア;ボテリョバーグナ;上之郷将志;益本寛之
